静電気力顕微鏡（EFM）
高空間分解能: 10μm 走査範囲: 数mm2
商品名：静電気力顕微鏡
EFM（Electrostatic Force Microscope）very high spatial resolution ESVM system
型式：Model 1100TN
EFMの特徴
先端寸法5μm x 5μmのカンチレバーを有した走査型プローブ顕微鏡タイプの表面電位分布計測システムです。
今までの表面電位計では測定出来なかった 非常に細かい10μm程度の表面電位分布を測定する事が出来、数mm程度の非常に広いエリアの走査が可能です。
±1000Vの電圧を0.5%の高精度で測定する事が出来ます。
EFMの仕様
| 空間分解能: | 10um以下 |
| カンチレバー先端: | 5 x 5 um2 |
| 測定電圧範囲: | ± 1000V(最大±2000V) |
| 測定電圧精度: | 0.5% F.S. |
| 測定電圧感度: | 最高20mV以下 |
| 測定速度: | 最高30ms/plot |
| 走査範囲: | 最大5x5mm2程度 |
| 走査ステップ幅: | 最小1um |
| 測定モード: | 定点、ライン、3D |
