静電気力顕微鏡(EFM)

高空間分解能:  10μm   走査範囲: 数mm2

商品名:静電気力顕微鏡
    EFM(Electrostatic Force Microscope)very high spatial resolution ESVM system
型式:Model 1100TN

EFMの特徴

先端寸法5μm x 5μmのカンチレバーを有した走査型プローブ顕微鏡タイプの表面電位分布計測システムです。

今までの表面電位計では測定出来なかった 非常に細かい10μm程度の表面電位分布を測定する事が出来、数mm程度の非常に広いエリアの走査が可能です。
±1000Vの電圧を0.5%の高精度で測定する事が出来ます。

測定器外観

 

EFMの仕様

空間分解能: 10um以下
カンチレバー先端: 5 x 5 um2
測定電圧範囲: ± 1000V(最大±2000V)
測定電圧精度: 0.5% F.S.
測定電圧感度: 最高20mV以下
測定速度: 最高30ms/plot
走査範囲: 最大5x5mm2程度
走査ステップ幅: 最小1um
測定モード: 定点、ライン、3D



カンチレバーイメージ
トナーの測定事例
帯電防止袋の観察画像
トナーの測定事例
静電潜像の測定事例
静電気力顕微鏡-EFM-Model-1100TN-カタログ-202109