静電気力顕微鏡(EFM)
高空間分解能: 10μm 走査範囲: 数mm2
商品名:静電気力顕微鏡
EFM(Electrostatic Force Microscope)very high spatial resolution ESVM system
型式:Model 1100TN
EFMの特徴
先端寸法5μm x 5μmのカンチレバーを有した走査型プローブ顕微鏡タイプの表面電位分布計測システムです。
今までの表面電位計では測定出来なかった 非常に細かい10μm程度の表面電位分布を測定する事が出来、数mm程度の非常に広いエリアの走査が可能です。
±1000Vの電圧を0.5%の高精度で測定する事が出来ます。
![](https://west-1.co.jp/wp-content/uploads/2021/09/測定機外観-1024x767.png)
EFMの仕様
空間分解能: | 10um以下 |
カンチレバー先端: | 5 x 5 um2 |
測定電圧範囲: | ± 1000V(最大±2000V) |
測定電圧精度: | 0.5% F.S. |
測定電圧感度: | 最高20mV以下 |
測定速度: | 最高30ms/plot |
走査範囲: | 最大5x5mm2程度 |
走査ステップ幅: | 最小1um |
測定モード: | 定点、ライン、3D |
![](https://west-1.co.jp/wp-content/uploads/2021/09/カンチレバーイメージ-1024x808.png)
![](https://west-1.co.jp/wp-content/uploads/2021/09/測定サンプル(トナー)写真 測定事例-1024x359.png)
![](https://west-1.co.jp/wp-content/uploads/2021/09/帯電防止袋の観察画像.png)
![](https://west-1.co.jp/wp-content/uploads/2021/09/帯電防止袋の測定例-1024x819.png)
![](https://west-1.co.jp/wp-content/uploads/2021/09/Siウェハーの観察画像.png)
![](https://west-1.co.jp/wp-content/uploads/2021/09/Siウェハーの観察画像 下.png)
![](https://west-1.co.jp/wp-content/uploads/2021/09/Siウェハーの測定例-996x1024.png)
![](https://west-1.co.jp/wp-content/uploads/2021/09/トナーの測定事例-650x1024.png)
![](https://west-1.co.jp/wp-content/uploads/2021/09/静電潜像の測定事例-e1632986970393-1024x694.png)